升压法漏率测量装置的研制

• 作者: 孙立臣 朱爱青 王旭迪 窦仁超 董栋 赵永恒 魏本猛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 升压法 漏率测量 标准室 本底放气 全金属密封
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TB771
• 字数: 3254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.01.02

摘要

本文介绍了一种基于升压法的漏率测量装置,通过在传统升压法的基础上添加标准室,降低了测量过程中本底放气的影响,全金属密封避免了氦气的渗透,利用数据采集卡和组态王软件实现数据的连续采集和记录.装置测量了10apa-1 05Pa下氦气通过测试元件的漏率,并利用检漏仪对测试结果进行了验证,相对误差在5.8％左右.本装置可以实现10-8Pa m3/s量级以下的漏率的精确测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王旭迪	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	40	192	9.0	12.0
2	孙立臣		68	159	6.0	9.0
3	窦仁超		21	45	3.0	6.0
4	朱爱青	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	3	6	2.0	2.0
5	赵永恒	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	2	4	1.0	2.0
6	魏本猛	合肥工业大学机械工程学院真空与过装系	4	6	1.0	2.0
7	董栋		4	5	1.0	2.0