退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响

• 作者: 刘正兵 吴杨敏 周升国 王顺才
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: WC-DLC薄膜 退火 摩擦学性能 耐腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 16-24
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20161117005

摘要

为研究退火处理对WC-DLC薄膜结构与性能的影响,采用磁控溅射技术在高速钢表面沉积WC-DLC薄膜,并作不同温度下的退火处理,对不同温度退火处理后的WC-DLC薄膜的结构、摩擦学性能与耐腐蚀性能进行系统表征.结果表明:WC-DLC薄膜呈现出非晶态特征,随着退火温度的上升,薄膜中sp3-C相对含量下降;当退火温度在250℃时,WC-DLC薄膜在大气环境下与去离子水环境下分别表现出最优的摩擦学性能,磨损率分别为1.25× 10-7 mm3/Nm与1.02×10-7 mm3/Nm.同时,当退火温度低于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性能无明显变化,但当退火温度高于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性明显下降.退火处理对WC-DLC薄膜的热稳定性、摩擦学性能及耐腐蚀性能有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正兵	江西理工大学材料科学与工程学院	6	8	2.0	2.0
2	周升国	江西理工大学材料科学与工程学院	10	40	2.0	6.0
3	吴杨敏	江西理工大学材料科学与工程学院	2	21	2.0	2.0