自发形核生长的AlN单晶湿法腐蚀研究

• 作者: 任忠鸣 刘理想 吴亮 曹凯 汪佳 邓康
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlN单晶 自发形核 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 页码范围: 1239-1243
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 2951字
• 语种: 中文

摘要

采用湿法腐蚀工艺,使用熔融态KOH和NaOH作为腐蚀剂,对一种物理气相传输(PVT)自发形核新工艺在2100~2250 ℃条件下生长的AlN单晶进行了腐蚀实验.通过实验及扫描电子显微镜(SEM)结果分析,得到了典型的AlN单晶c面、r系列面及m面最佳的腐蚀工艺参数及腐蚀形貌.另外,基于腐蚀形貌分析,发现了采用该自发形核新工艺生长的AlN晶体某些独特习性并计算出AlN单晶腐蚀坑密度(EPD).