分子束外延用碲锌镉(211)B衬底表面预处理技术

• 作者: 吴亮亮
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碲锌镉 表面预处理 湿化学腐蚀 热处理 回旋共振
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 688-693
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 3019字
• 语种: 中文

摘要

本文主要分析了作为分子束外延碲镉汞的碲锌镉衬底的表面预处理工艺.湿化学处理工艺主要目的是去除衬底表面损伤层,0.5%溴甲醇溶液的腐蚀速率为7 nm/s,但腐蚀的同时会形成表面富Te层和氧化层,氧化层的厚度随溴甲醇的浓度增加而增加;高温热处理工艺主要是消除湿化学腐蚀形成的富Te层和氧化层,340℃的高温处理可去除表面氧化层;也可以直接通过回旋共振等离子体处理衬底表面,形成化学计量比正常的干净表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴亮亮		7	6	2.0	2.0