TiZrN薄膜不同Zr含量时的微观结构及摩擦学性能

• 作者: 刘亮 刘振振 孙宏飞 宋驰 王灿明
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: TiZrN薄膜 摩擦磨损 微观结构 反应磁控溅射
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.1
• 字数: 3390字
• 语种: 中文

摘要

为了进一步评价Zr含量对TiZrN薄膜摩擦学性能的影响,采用反应磁控溅射法制备了Ti1-xZrxN薄膜(0.14 ＜x＜0.56).通过XRD,SEM技术分析了TiZrN薄膜的微观结构,考察了不同Zr含量时TiZrN薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:TiZrN薄膜的晶体结构不因Zr的加入而改变,仍为面心立方结构;TiZrN薄膜为合金化复合膜,Zr以置换方式固溶于TiN中,随着Zr含量的升高,晶粒明显细化,柱状晶生长模式发生转变;TiZrN薄膜结构致密且硬度更高,小晶粒在摩擦磨损中能有效阻止裂纹的扩展,其抗摩擦磨损性能较TiN薄膜有明显的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙宏飞	山东科技大学材料科学与工程学院	64	637	14.0	22.0
2	王灿明	山东科技大学材料科学与工程学院	22	128	7.0	10.0
3	刘亮	山东科技大学材料科学与工程学院	7	16	3.0	3.0
4	刘振振	山东科技大学材料科学与工程学院	4	7	2.0	2.0
5	宋驰	山东科技大学材料科学与工程学院	3	5	1.0	2.0