P型微晶硅氧薄膜光电性能研究

• 作者: 于威 刘大为 彭文博 杨彦斌 高虎 黄艳红
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微晶硅氧 太阳电池 窗口层
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 页码范围: 2115-2118,2124
• 页数: 5页
• 分类号: O753
• 字数: 2689字
• 语种: 中文

摘要

本工作采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了P型微晶硅氧窗口层薄膜,讨论了P型微晶硅氧的光电特性随硼烷掺杂率的变化.采用紫外-可见透射光谱,拉曼光谱,傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR),暗电导测量对薄膜的光电特性进行了表征.结果表明,P型微晶硅氧材料均表现为微晶态,随着硼烷掺杂率增加,晶化程度逐步降低,暗电导率快速减小,光学带隙持续降低.该结果可归因于硼烷掺杂的增加抑制晶化使得非晶成分增多,有效掺杂率降低导致薄膜电导率下降,另一方面,对硅氧物相分离的阻碍作用导致薄膜带隙下降.硼烷掺杂率为0.4％样品的电导率高达0.158 S/cm且光学带隙为2.2 eV,兼具高透射性和良好电导率,可作为高效硅基太阳电池的窗口层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
2	杨彦斌	河北大学物理科学与技术学院	10	34	3.0	5.0
3	彭文博		9	25	2.0	5.0
4	刘大为		9	25	2.0	5.0
5	高虎		4	0	0.0	0.0
6	黄艳红	河北大学物理科学与技术学院	4	1	1.0	1.0