黏滑驱动式小型精密运动平台

• 作者: 娄成树 张军 时运来 程丁继
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 黏滑驱动 压电叠堆 平台 精密运动 力学分析
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1124-1132
• 页数: 9页
• 分类号: TP242
• 字数: 3284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182605.1124

摘要

为满足微纳操作系统对精密驱动技术的需求,本文提出了一种基于黏滑原理的小型精密运动平台.该平台将柔性铰链、惯性质量块以及弹性元件结合为独立的定子基座,并与压电叠堆、陶瓷球固连为定子,安装在平台基座底部,通过螺钉调节弹性元件端部垂直方向的位置,就可以改变定子与移动台间的预压力,进而获得最佳的驱动力.为研究黏滑驱动的运动机理,分析各参数对平台运动的影响,进行了力学建模;而摩擦力作为黏滑驱动的关键因素,为了能准确地表达黏滑驱动的摩擦机理,在力学建模中引入了LuGre摩擦模型,并利用Matlab/Simulink软件进行了仿真分析.设计加工的黏滑驱动平台的整体尺寸为40mm×40mm×18mm,质量为32g.试验表明:该平台最小可实现10nm的运动步长,速度最高可达2.5mm/s,行程为22mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	47	321	10.0	16.0
2	时运来	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	34	312	9.0	17.0
3	娄成树	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	3	4	1.0	2.0
4	程丁继	南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室	4	5	2.0	2.0