近红外激光薄膜的损伤特性与抗损伤性能提升研究

• 作者: 张学敏 张锦龙 焦宏飞 王占山 程鑫彬 马彬
• 来源期刊: 上海航天
• 学科: 工学
• 关键词: 激光薄膜 激光损伤 损伤阈值 近红外 节瘤缺陷 吸收缺陷 反射元件 透射元件
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 专家特稿
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TN246
• 字数: 6180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19328/j.cnki.1006-1630.2018.01.001

摘要

在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法.结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系结构可以大大降低薄膜中由节瘤缺陷引起的电场增强效应,大幅提升损伤阈值2～3倍;对于透射元件,采用合理的刻蚀工艺可有效降低薄膜中的吸收缺陷,有效提升其损伤阈值约1.5倍.