多晶硅锭的剖方质量改善研究

• 作者: 刘文峰 周小荣 明亮 段金刚 邱昊 陈国红
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅锭 多线切割 改善方法 切割能力
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体装置工艺与设备
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN948.43
• 字数: 2836字
• 语种: 中文

摘要

从改善砂浆切割性能出发,研究了砂浆物理性质、剖方后小方棒尺寸及线痕比例随着切割刀数的变化趋势,分析了相关原因,最终得到多晶硅锭剖方的工艺方法,即:砂浆更换方式采用整缸更换,并且切割工艺采用变速切割;增大砂浆流量;采用改善办法可以有效提高好砂浆的切割能力,得到更好的切割效果.