一种关于老炼试验过程状态监测方法的研究

• 作者: 冯慧玲 陈真
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 老炼试验 单片机 信号处理 状态监测
• 年，卷（期）: 2018,（z1）
• 所属期刊栏目: 中科芯检测事业部第二届检测技术研讨会论文精选
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TN306
• 字数: 2066字
• 语种: 中文

摘要

老炼试验是能将早期失效剔除的无损试验技术,是集成电路筛选流程中重要的一环,试验过程中随时监测受试器件工作状态是提高试验水平的重要手段.主要研究如何在老炼试验过程中实时监测受试器件的工作状态.通过对受试器件输出波形进行采样隔离、频率处理,并与预定波形相比较,以判断器件是否正常工作,且具备监测异常自动报警的功能.实现了有效提高状态监测工作效率、成本低、使用维护简单的监测方法和装置,为提高筛选质量提供了可行的保障手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈真	中国电子科技集团公司第五十八研究所	8	1	1.0	1.0
2	冯慧玲	中国电子科技集团公司第五十八研究所	2	0	0.0	0.0