载流子浓度与迁移率对氧化物薄膜红外透明导电性能影响的研究进展

• 作者: RALCHENKO V 代兵 朱嘉琦 杨振怀 杨磊 王鹏 耿方娟 郭帅 雷沛 韩杰才
• 来源期刊: 中国科学（技术科学）
• 关键词: 红外透明导电薄膜 载流子 迁移率 等离子波长
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 583-595
• 页数: 13页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N092017-00179

摘要

红外透明导电薄膜凭借其在可见光-红外光范围内高透过和高导电的优点引起了广泛关注.根据德鲁德自由电子理论可知, 透明导电薄膜的光学性能和电学性能之间难以协调. 为了探明透明导电薄膜能否同时具有中-远红外光学透过性能和高导电性能,首先从电子与光子相互作用的机制出发,分析红外波段光电性能难以协调的本质原因, 并提出实现红外透明导电的可能性. 其次对近几年氧化物薄膜光电性能研究成果进行综述, 探讨其光学性能和电学性能之间的作用关系,揭示了载流子浓度和迁移率与等离子波长和导电性能的关系,得出透明导电薄膜可以同时实现红外宽波段透过性能和高导电性能.最后得出可以通过调节薄膜的载流子浓度和迁移率,实现同时具有红外光学性能和电学性能的薄膜.