MBE法制备VO2薄膜及其中红外调制深度测量

• 作者: 侯典心 刘志伟 路远 邹崇文
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子束外延 VO2薄膜 透过率调制深度 中红外激光防护
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 942-947
• 页数: 6页
• 分类号: O434.14
• 字数: 3191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183907.0942

摘要

为了给VO2薄膜在定向红外对抗系统防护方面的应用提供理论依据,我们用透过率调制深度表征VO2薄膜在中红外波段的相变特性.本实验利用分子束外延法(MBE)制备VO2外延单晶薄膜,经XRD、AFM表征,发现其具有(020)择优取向、纯度较高,薄膜表面平整、均匀且致密.经VU-Vis-IR测量发现其近红外透过率相变特性显著,但在紫外和可见光范围内透过率相变特性较不明显.然后我们对制备时间为30 min、40 min的两组薄膜分别进行25～70℃的升温和降温实验,观察其对波长为3459 nm、脉宽50 ns、重频50 kHz、功率密度0.14 W/cm2的中红外激光的透过率变化,并比较两组薄膜的温滞曲线特性.实验发现它们对中红外透过率的调制深度均可达60％以上,前者比后者对中红外的调制深度高出约4％.这说明利用分子束外延法制备的VO2单晶薄膜具有良好的中红外调制特性,且调制深度和膜厚有关.进一步表明了利用VO2薄膜实现中红外激光防护具有一定的可行性.