磁控溅射制备VO2薄膜及其红外相变特性

• 作者: 乔亚 凌永顺 徐凯 路远
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒 直流磁控溅射 氧化热处理 红外相变特性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 372-376
• 分类号: TB321
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法与氧化法热处理相结合的工艺,在Si基底上制备VO2薄膜,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线电子能谱(XPS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)透射率测试,分析了VO2薄膜截面结构、晶相成分、成分价态及红外透射率相变特性.实验分析表明,采用直流磁控溅射与氧化热处理相结合的方法,可获得主要成分为具有明显择优取向单斜金红石结构VO2(011)晶体的氧化钒薄膜,其红外透射率具有明显相变特性,相变中心温度为57.5℃,3～5μm、8～12μm波段的红外透射率对比值达到99.5％,适合应用于红外探测器的激光防护研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路远		34	257	10.0	15.0
3	乔亚		16	63	5.0	7.0
5	凌永顺		45	359	11.0	17.0
13	徐凯		10	46	4.0	6.0