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硅片传输量子速度
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摘要：
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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
集成电路
硅片机器人传输系统
硅片机器人
预对准装置
传输电网保护信号的量子远程传态系统
量子隐形传态
电网
保护信号
远程传态系统
硅片涂胶及软烘自动设备的研制
PLC
精确传输
滴胶量控制
温度控制
硅片处理预对准系统的研究
硅片预对准
压电马达控制
圆拟合算法
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期刊影响力
科技纵览
主办单位：
中国科学技术信息研究所
科学技术文献出版社
出版周期：
月刊
ISSN：
2095-4409
CN：
10-1080/N
开本：
出版地：
北京市海淀区复兴路15号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
chi
出版文献量（篇）
1739
总下载数（次）
5
总被引数（次）
48
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