室温脉冲激光沉积法合成Bi3.95Er0.05Ti3O12薄膜及其介电性能研究

• 作者: 梁立容 莫忠 魏爱香
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 薄膜 脉冲激光沉积 室温 介电性能
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 212-216
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0902002

摘要

采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi3.95 Er0.05Ti3O12(BErT)薄膜.研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3 Pa时,BErT薄膜厚度约为180 nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1 kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025.同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁立容		3	6	1.0	2.0
2	魏爱香		4	19	2.0	4.0
3	莫忠		1	0	0.0	0.0