高跨导氢终端多晶金刚石长沟道场效应晶体管特性研究

• 作者: 任泽阳 张春福 张进成 张金风 徐雷 杨鹏志 许晟瑞 郝跃
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 金刚石 氢终端 场效应晶体管
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 271-277
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.67.20171965

摘要

基于多晶金刚石制作了栅长为4μm的铝栅氢终端金刚石场效应晶体管.器件的饱和漏源电流为160 mA/mm,导通电阻低达37.85?·mm,最大跨导达到32 mS/mm,且跨导高于最大值的90％的栅压(VGS)范围达到3 V(?2 V≤VGS≤?5 V).通过传输线电阻分析以及器件的导通电阻和电容-电压特性分析,发现氢终端多晶金刚石栅下沟道中的空穴面浓度达到了1.56×1013 cm-2,有效迁移率在前述高跨导栅压范围保持在约170 cm2/(V·s).分析认为,较低的栅源和栅漏串联电阻、沟道中高密度的载流子和在大范围栅压内的高水平迁移率是引起高而宽阔的跨导峰和低导通电阻的原因.