基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

• 作者: 唐锋 戴凤钊 李思坤 段立峰 王向朝 诸波尔
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 检测 光刻 高阶波像差 多偏振照明 空间像 主成分分析
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 135-143
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0712004

摘要

提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术.通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精度检测.与基于Box-Behnken Design统计抽样方法的超高数值孔径光刻投影物镜高阶波像差检测方法相比,所提技术有效降低了采样数,提高了采样效率,加快了建模速度.采用光刻仿真软件PROLITH对所提技术进行了仿真验证,并分析了照明方式对高阶波像差检测精度的影响.仿真结果表明,该技术对高阶波像差(Z5～Z64)的检测精度优于1.03×10-3λ,同时其建模速度提升了约30倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
3	李思坤	中国科学院上海光学精密机械研究所	25	3	1.0	1.0
4	戴凤钊	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	0	0.0	0.0
5	诸波尔	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
6	段立峰	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0