磁控溅射制备Cu-Al合金薄膜及光吸收性能研究

• 作者: 侯贵华 关荣锋 宋娟 张力 杨子润 王明腾 高宇浩
• 来源期刊: 盐城工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Cu-Al合金薄膜 表面等离子体共振 纳米颗粒 热处理
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 生态建材·绿色环保
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 2028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16018/j.cnki.cn32-1650/n.201901002

摘要

为使沉积态Cu-Al合金薄膜有显著的表面等离子体共振(SPR)吸收峰,采用磁控溅射法分别制备了纯Cu、纯Al和Cu-Al合金薄膜,并采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计对其物相和光吸收性能进行了测试.结果表明,不连续的较薄Cu膜在沉积态下可观察到540 nm处的吸收峰,较厚的Cu膜通过在400℃下进行1 h热处理可在400 nm处获得微弱的吸收峰.沉积态的Al膜在可见光范围内无吸收峰,在热处理后,不连续的较薄Al膜可获得580 nm处的吸收峰,而较厚Al膜通过长时间热处理后可获得730 nm处的吸收峰.共溅射制得的较薄Cu-Al合金薄膜无须经过热处理,即可在可见光范围内获得吸收峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨子润	盐城工学院材料科学与工程学院	26	108	5.0	9.0
2	侯贵华		8	36	3.0	5.0
3	宋娟	盐城工学院材料科学与工程学院	6	16	2.0	4.0
4	王明腾	盐城工学院材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
5	高宇浩	盐城工学院材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
6	张力	盐城工学院材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
7	关荣锋		1	0	0.0	0.0