篇名 | A Novel Process for SiGe Core-Shell JAM Transistors Fabrication and Thermal Annealing Effect on Its Electrical Performance | ||
来源期刊 | 半导体科学与信息器件(英文) | 学科 | 工学 |
关键词 | Junctionless-accumulation(JAM)FET Junctionless(JL)FET SiGe core-shell Rapid thermal anneal Subthreshold swing(SS) | ||
年,卷(期) | 2019,(2) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 11-18 | |
页数 | 8页 | 分类号 | TN3 |
字数 | 语种 | ||
DOI |