基于可控剥离技术的柔性PZT薄膜的制备及其铁电性质

• 作者: 丑修建 何剑 张晶 石树正 穆继亮
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可控剥离技术(CST) 电镀 柔性PZT铁电薄膜 溶胶-凝胶 镍酸镧(LaNiO3)
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 233-238
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文

摘要

可控剥离技术(CST)作为一种薄膜制备方式已被广泛应用于柔性领域,例如硅基柔性太阳电池等.首先采用溶胶-凝胶法先后在普通硅基底上制备镍酸镧(LaNiO3)缓冲层和锆钛酸铅(PZT)薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)进行材料表征,发现PZT薄膜结晶良好,而且表面致密均匀,表明LaNiO3缓冲层有利于PZT薄膜的成膜.之后通过基于电镀镍方法的可控剥离技术实现了硅基底柔性PZT薄膜的制备.PZT薄膜弯曲之后,采用铁电测试仪测试了电滞回线.电滞回线表明该PZT薄膜的极化强度随着施加电压的增加而增大,而且随着电压的增加,电滞回线逐渐趋于饱和,饱和极化强度为38 μC/cm2.最终得出该柔性PZT薄膜不仅具有良好的机械性能,而且具有很好的铁电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丑修建	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
2	穆继亮	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	21	66	4.0	8.0
3	石树正	河北建筑工程学院机械工程学院	25	29	2.0	4.0
4	张晶	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	13	48	5.0	6.0
5	何剑	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	21	25	3.0	3.0