脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响

• 作者: 徐星 李助军 苏峰华
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲偏压 直流磁控溅射 MoN薄膜 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 54-62
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20181106003

摘要

MoN薄膜是一种具有潜在应用价值的薄膜材料,但对于其结构和性能的研究还较少.采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积MoN薄膜,研究了脉冲偏压对MoN薄膜结构和性能的影响,并系统研究了MoN薄膜在不同摩擦条件下的摩擦磨损行为.采用X射线衍射仪和扫描电镜分析薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面及断面形貌,采用HMV-2T显微硬度仪测试薄膜的显微硬度.采用UMT-TriboLab多功能摩擦磨损试验机评价薄膜的摩擦磨损性能,并用扫描电镜观察磨损表面,分析其磨损机制.结果 表明:脉冲偏压显著影响直流磁控沉积的MoN薄膜的晶相结构、表面形貌、断面结构、硬度和摩擦磨损性能;随脉冲偏压的增大,MoN薄膜的膜厚、硬度都先增大后减小,而薄膜的磨损率却先减小后增大,其中-500 V脉冲偏压下沉积的MoN薄膜具有最高硬度为7731N/mm2,以及最低的磨损率为5.8×10-7 mm3/(N·m).此外,MoN薄膜在不同载荷和转速的摩擦条件下表现出不同的摩擦学行为.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐星	华南理工大学机械与汽车工程学院	3	3	1.0	1.0
2	李助军	广州铁路职业技术学院机械与电子学院	37	30	3.0	4.0
3	苏峰华	华南理工大学机械与汽车工程学院	16	37	4.0	5.0