精密切割工艺的轨迹规划研究

• 作者: 程秀全 谭立杰 陈国兴 高爱梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 轨迹规划 精密加工 切割工艺
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.003

摘要

在微孔精密加工工艺中,常规的电机运动轨迹已经很难满足产品的工艺标准.通过运动控制系统搭建,采用直线缓冲与圆弧过渡两种主要方式,改变激光加工轨迹,以减少电机速度较慢时烧蚀严重所造成的孔径不规则现象,并克服了首脉冲带来的热影响.实验证明,该方法有效的改善了激光加工的工艺效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高爱梅	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	9	2.0	2.0
2	程秀全	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	6	2.0	2.0
3	谭立杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	20	3.0	4.0
4	陈国兴	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	2	1.0	1.0