超精密点对点运动3阶轨迹规划算法研究

• 作者: 严思杰 周云飞 杨华 穆海华
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 点对点运动 轨迹规划算法 精度补偿方法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 234-240
• 页数: 7页
• 分类号: TP391
• 字数: 5457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2008.02.022

摘要

研究了一种优化的超精密点对点运动3阶轨迹规划算法及其精度补偿方法.首先阐述了超精密轨迹规划具有可实用性所必须具备的特征以及实现轨迹时间优化的基本要求.后以系统动力学限制为基础,考虑运动轨迹的全过程,提出了一种通过预处理以获得时间优化的3阶轨迹直接规划算法.提出了一种适当降低系统动力学限制的时间圆整方法,有效补偿了算法计算机离散实现时所带来的精度损失.实例证明了本文提出算法的有效性和可靠性.该算法也成功应用于纳米级精度的半导体加工装备的研发中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨华	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	95	1147	18.0	31.0
2	周云飞	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	140	2386	28.0	40.0
3	穆海华	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	17	302	11.0	17.0
4	严思杰	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	35	457	13.0	21.0