超精密点对点运动3阶轨迹规划算法与实现

• 作者: 严思杰 周云飞 穆海华 韩爱国
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 轨迹规划 点对点运动 约束基准 快速预处理
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 2711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.12.017

摘要

分析了3阶轨迹轮廓可能存在的各种情形,在总结各种轨迹情形图形特征的基础上,建立了用来预判别以上情况的3个基准:速度-加速度准则、距离-加速度准则和距离-速度准则.依据该基准与给定系统约束,提出了一种轨迹全过程的快速预处理方法,实现了点对点运动时间优化;结合轨迹轮廓图形的对称性与面积求积分法,给出了一种简单的公式推导方法.在此基础上,给出了3阶轨迹规划的精确算法及其实现流程.实例证明了该算法的快速性、有效性、可靠性及灵活性.该算法已成功应用于超精密半导体加工装备的研发中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学机械科学与工程学院	140	2386	28.0	40.0
2	穆海华	华中科技大学机械科学与工程学院	17	302	11.0	17.0
3	严思杰	华中科技大学机械科学与工程学院	35	457	13.0	21.0
4	韩爱国	华中科技大学机械科学与工程学院	7	140	6.0	7.0