Sb掺杂ZnO单晶薄膜的结构和光学性能研究

• 作者: 原苗苗 杨娅 英敏菊
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入技术 ZnO薄膜 晶体结构 光致发光特性
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 336-340
• 页数: 5页
• 分类号: O484|TN304
• 字数: 3468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16360/j.cnki.jbnuns.2019.03.007

摘要

采用射频等离子体辅助分子束外延法制备高品质ZnO单晶薄膜,利用离子注入技术向ZnO单晶薄膜中注入不同注量的Sb离子,并对样品进行了氧气氛退火处理.利用高分辨双晶X射线衍射技术、RBS背散射/沟道技术以及低温光致发光光谱测试对注入Sb离子后样品的结构和光学性能进行了表征,结果表明:低注量下注入离子对ZnO薄膜结晶品质影响不大,带边发光稍有减弱;当掺杂注量达到1015 cm-2时,离子注入产生了一定量的晶格损伤,同时带边发光被完全抑制.氧气氛下退火后ZnO薄膜发光恢复,带边发光峰主要为受主能级和锌空位发光,表明退火后在ZnO单晶薄膜中形成了(SbZn-2VZn)受主缺陷复合体,有望通过Sb掺杂实现ZnO的p型转化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	原苗苗	北京师范大学核科学与技术学院	1	0	0.0	0.0
2	杨娅	北京师范大学核科学与技术学院	2	30	1.0	2.0
3	英敏菊	北京师范大学核科学与技术学院	6	3	1.0	1.0