蓝宝石衬底退火后表面缺陷的研究

• 作者: 周志豪 谢斌晖 陈启福 陈铭欣
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石衬底 退火 缺陷
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: O786
• 字数: 2371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2019.04.014

摘要

蓝宝石衬底晶片加工过程中,研磨作业后需要进行退火处理,以去除加工过程中所残余的应力,并消除残余应力所引起的衬底形变.退火前需对衬底进行清洗,将清洗干净后的衬底放入退火炉中进行高温退火.退火后,衬底晶片表面时常会出现一些色差的缺陷区域,此缺陷由于目视可见,不符合出货要求,因此需要重新进行研磨加工或直接损失报废等处理,降低了生产效率.因此本文目的为探究蓝宝石衬底退火后表面出现缺陷的分析,了解成因后即采取措施避免缺陷的发生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志豪		8	1	1.0	1.0
2	陈铭欣		6	1	1.0	1.0
3	谢斌晖		3	3	1.0	1.0
4	陈启福		1	1	1.0	1.0