化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验

• 作者: 敬瑀 朱黎明 王恩泽 龚伟
• 来源期刊: 机械设计与研究
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 Co-Re合金涂层 道尔顿分压定律 设备设计
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 新产品开发与设计
• 页码范围: 195-198
• 页数: 4页
• 分类号: TH69
• 语种: 中文

摘要

设计了Co-Re化学气相沉积设备.该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层.文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸.经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚伟		45	122	6.0	8.0
2	王恩泽		44	275	9.0	15.0
3	敬瑀		2	1	1.0	1.0
4	朱黎明		1	0	0.0	0.0