硅片传输机器人手臂的拓扑优化

• 作者: 于大泳 何凡普
• 来源期刊: 农业装备与车辆工程
• 学科: 工学
• 关键词: HyperMesh OptiStruct 固有频率 模态分析 拓扑优化
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TH242
• 字数: 2116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3142.2019.03.017

摘要

对硅片传输机器人手臂进行实体建模,用OptiStruct对手臂进行模态分析,然后对其进行拓扑优化,并计算出新手臂的结构,建立新的模型,最后对新的手臂进行模态分析.结果 表明,新结构的手臂更省材料,最小固有频率变化不大,实现了减材的目的,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输.