浅谈薄膜晶体管微观缺陷修补

• 作者: 吴登刚 徐佳慧 朱元 高搏剑
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 表面微观缺陷 修补
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 材料:生产与工艺
• 页码范围: 23-24
• 页数: 2页
• 分类号: TQ050
• 字数: 1366字
• 语种: 中文

摘要

液晶面板中薄膜晶体管(Thin Film Transistor,后续简称TFT)作为开关元件,通过影响液晶偏转角度,从而控制液晶面板显示的亮暗程度.随着液晶面板的超高清化,表面微观缺陷对薄膜晶体管的影响越来越大,随之而来对薄膜晶体管微观缺陷的修补也带来更多挑战.本文介绍三种常见的薄膜晶体管修补设备的工作原理及其常见修补方式,为良率提升奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐佳慧		3	0	0.0	0.0
2	高搏剑		3	0	0.0	0.0
3	吴登刚		3	0	0.0	0.0
4	朱元		5	0	0.0	0.0