光刻机平边定位原理简析及找平边模块改造

• 作者: 刘磊 夏久龙 王发稳 申强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 平边定位 找平边模块 改造 GaN晶圆
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 41-46
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 1800字
• 语种: 中文

摘要

论述了NIKON i12D(type3)光刻机平边定位工作原理,并以NIKON i12D(type3)光刻机为基础,通过对找平边传感模块的硬件和电路改造,实现了对GaN晶圆平边的有效识别.测试结果表明,成功率高,稳定性好;减少了不必要的生产流程,提高了生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘磊	中国电子科技集团公司第五十五研究所	38	58	4.0	5.0
2	申强	中国电子科技集团公司第五十五研究所	4	10	2.0	3.0
3	王发稳	中国电子科技集团公司第五十五研究所	2	0	0.0	0.0
4	夏久龙	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	0	0.0	0.0