大尺寸单晶硅片加工技术简介

• 作者: 康仁科
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

硅元素在地壳中的含量仅次于氢元素和氧元素,其主要以化合物的形式广泛存在于自然界中.在 20世纪,人们发现硅的半导体性质后,硅材料即作为基础性材料被陆续用于晶体管和集成电路(integrated cir-cuit,IC)等半导体产业中.由于硅的 储量丰富、价格低廉等特点,使其在半导体材料中居于极为重要的地位,并随着科技进步而蓬勃发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康仁科		165	2562	24.0	44.0