离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究

• 作者: 卓祖亮 张丛 张磊 石倩楠
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 静电夹持 晶圆温度值分析
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 语种: 中文

摘要

介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘.构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算.