纳米级数字集成电路老化效应分析与老化监测技术综述

• 作者: 谢暄 赵天津 魏敬和 黄乐天
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 数字集成电路 可靠性 老化监测
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.1005

摘要

数字集成电路随着工艺制程的提高,可靠性问题逐步凸显,而老化则是可靠性问题的一个重要方面.同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域,对可靠性提出更高的要求,因此针对数字集成电路老化监测的技术成为了研究热点.对数字集成电路的老化效应进行了总结,并分析得出先进工艺下需要重点监测的老化效应,对数字集成电路现有老化监测手段进行总结分析,同时对老化监测技术的进一步发展提出了展望.