金属氧化物薄膜晶体管的激光退火

• 作者: 刘贤哲 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪 王一平 罗子龙 胡润东 邓宇熹 邱天 黄健朗
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 激光退火技术 金属氧化物 薄膜晶体管 氧空位
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 材料物理
• 页码范围: 1211-1221
• 页数: 11页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/YJYXS20203512.1211

摘要

金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10～100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT.激光退火因具有能量高、速度快、对衬底损伤小和退火范围可控的特点,相比传统热退火,更适用于柔性和大尺寸背板的制备.本文综述了有关金属氧化物薄膜及MOTFT激光退火的研究进展;详细讨论了激光退火中的关键参数;系统阐述了激光对金属氧化物薄膜的作用以及激光对MOTFT性能的影响.最后,总结了现在激光退火技术存在的问题以及发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王一平		4	1	1.0	1.0
2	宁洪龙		1	0	0.0	0.0
3	邓宇熹		1	0	0.0	0.0
4	黄健朗		1	0	0.0	0.0
5	罗子龙		1	0	0.0	0.0
6	胡润东		1	0	0.0	0.0
7	刘贤哲		1	0	0.0	0.0
8	邱天		1	0	0.0	0.0
9	姚日晖		1	0	0.0	0.0
10	彭俊彪		1	0	0.0	0.0