嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识

• 作者: 何汉辉 吴学忠 宋国雄 李青松 肖定邦 许一 路阔 高凯
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 嵌套环式MEMS陀螺 结构误差辨识 刚度轴偏角误差 电极未对准误差
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1419-1424
• 页数: 6页
• 分类号: TP393
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.10.007

摘要

作为一种工作在简并模态的陀螺,嵌套环式MEMS陀螺因其更强的抗冲击特性、对外界振动更低的敏感性以及更灵活的电极配置等优势被作为一个重要的微机电陀螺发展方向.然而,在加工过程中产生的谐振结构不对称误差会导致陀螺模态不匹配,严重限制陀螺的性能.面对批量化生产的谐振器,需要用一种便于实施的结构误差辨识方法挑选高品质的谐振器加工高性能陀螺.本文分析了刚度轴偏角误差和电极未对准误差对陀螺的影响.然后,提出了基于静电修调理论的误差辨识方法.最后,用三支嵌套环陀螺完成了辨识实验,证实了方法的可行性,辨识过程中得到的修调电压还可直接用于静电修调.