PCM在MEMS陀螺工艺中的应用

• 作者: 付兴中 孙天玲 崔玉兴 杨志 胥超
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 PCM测试结构 测试系统 统计过程控制
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 数控技术
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TP271.4
• 字数: 1300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19695/j.cnki.cn12-1369.2020.04.09

摘要

PCM作为工艺过程监控手段,是半导体制造过程中的一个重要的监测工具.它主要是加工过程中的电参数测量,反映出产品在制作过程中的异常和一致性.本论文针对MEMS陀螺的生产过程,设计符合前道工艺线的PCM结构,然后运用SPC统计控制技术对数据进行分析,可以有效提高工艺能力,反映出产品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	34	3.0	5.0
2	崔玉兴	中国电子科技集团公司第十三研究所	30	88	6.0	8.0
3	付兴中	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	10	2.0	3.0
4	孙天玲	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	0	0.0	0.0
5	胥超	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	30	4.0	5.0