基于背散射电子的电子束加工过程在线观测系统研制

• 作者: 张红玉 许海鹰 路开通 左从进
• 来源期刊: 航空制造技术
• 关键词: 电子束 背散射电子 在线观测 高频偏转扫描 图像处理
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 70-75
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16080/j.issn1671-833x.2021.03.070

摘要

为了在高真空、高温、高金属蒸气的电子束加工过程中获得清晰的观测效果,采用四极板背散射电子接收传感器、高频信号放大电路、高频数据采集卡、高频偏转扫描系统等,研制了一套基于背散射电子的在线观测系统.通过试验验证,所研制系统可以有效观测100mm×100mm范围内的工件,图像分辨率为512像素×512像素,图像处理帧数可以达到6帧/s.