基于化学气相沉积法铜基大面积单晶双层石墨烯薄膜的快速生长

• 作者: 张津铭 牟海川 谢海芬
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 石墨烯 化学气相沉积 双氧钝化
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 123-128
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.14135/j.cnki.1006-3080.20191111001

摘要

通过分段控制甲烷与氢气的流量比以及增加氧气的供应,使用低压化学气相沉积设备(LPCVD)、在40 min的生长时间内、在铜箔上生长出连续的高质量的单晶石墨烯薄膜.研究表明,双氧钝化的使用和调整甲烷与氢气的流量比可以达到石墨烯的最佳成核和生长速率,使得石墨烯可以在短时间内生长为连续的单晶薄膜;石墨烯基场效应晶体管(FET)展现了优良的电学特性,其空穴迁移率可达到4347 cm2/(V·s).