基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究

• 作者: 王育新 朴林华 李备 丁霞
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: 热膨胀流陀螺 有限元分析 电路仿真 敏感机理 MEMS
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 333-338
• 页数: 6页
• 分类号: TP202
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1691

摘要

提出一种新型推挽式热膨胀流陀螺结构,并解释了它的敏感机理.通过建立陀螺敏感元件的二维模型,利用COMSOL有限元分析软件对敏感元件内的温度场和气流速度场进行了计算,同时研究了角速度对温度场和气流速度场变化的影响,最后在Proteus电路仿真软件中通过建立陀螺检测电路模型定量地计算了热膨胀流陀螺的输入输出特性关系.计算结果表明,该结构设计的陀螺具有陀螺效应,角速度范围在 ±20 rad/s内时,热膨胀流陀螺输入角速度与输出电压关系的比例系数k为0.3293 mV/(rad·s-1).该研究成果为新型结构热膨胀流陀螺的结构设计奠定了坚实的理论基础.