基于UV-LIGA的太赫兹波导微矩形腔体加工技术研究

• 作者: 程浩 曾永彬
• 来源期刊: 电加工与模具
• 关键词: 太赫兹矩形波导 UV-LIGA技术 锌表面镀金
• 年，卷（期）: 2021,（z1）
• 所属期刊栏目: 电化学加工
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: TG662
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2021.z1.014

摘要

提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导.研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密度0.3 A/dm2条件下,电镀金的表面形貌最好.利用工业CT观察波导腔体的溶解情况,发现在水浴温度70℃的2mol/L盐酸溶液下,溶解4天后锌芯模即可全部去除.