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光学偏折子孔径拼接面形检测技术
光学偏折子孔径拼接面形检测技术
作者:
相超
王道档
窦进超
孔明
刘璐
许新科
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学检测
条纹投影光学偏折
子孔径拼接
大动态范围
摘要:
针对大口径的高斜率动态范围光学元件的测量需求,提出了基于光学偏折技术的子孔径拼接测量方法.利用所搭建的条纹投影光学偏折测量系统,结合子孔径划分拼接方法,对各子孔径分别进行测量,并根据实际测量结果与测量系统模型光线追迹结果的偏差,高精度测得各个子孔径的面形数据,由此对各子孔径进行拼接来实现全口径面形测量.光学偏折测量技术相对干涉法具有很大的测量动态范围和视场,可极大降低所需的子孔径数量,由此大大提高了检测效率.同时提出了针对重叠区域的加权融合算法来实现拼接面形的平滑过渡.为验证所提出方案的可行性,分别进行了仿真分析以及实验验证.对一高斜率反光灯罩进行拼接测量实验,并将拼接测量与全口径测量结果进行对比.结果 表明,利用所提出测量方法获得的拼接面形连续光滑,且与全口径测量面形RMS值偏差为0.0957 μm,优于微米量级.该测量具有较高的测量精度和大动态测量范围,并且系统结构简单,为各类复杂光学反射元件提供了一种有效可行的检测方法.
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光学检测
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共形检测
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补偿器
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子孔径拼接
去倾斜
光学检测
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内容分析
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引文网络
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期刊文献
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关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
光学偏折子孔径拼接面形检测技术
来源期刊
红外与激光工程
学科
工学
关键词
光学检测
条纹投影光学偏折
子孔径拼接
大动态范围
年,卷(期)
2021,(11)
所属期刊栏目
光电测量|Photoelectric measurement
研究方向
页码范围
261-267
页数
7页
分类号
TH741
字数
语种
中文
DOI
10.3788/IRLA20210105
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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2021(0)
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引证文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
光学检测
条纹投影光学偏折
子孔径拼接
大动态范围
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与激光工程
主办单位:
天津津航技术物理研究所
中国光学工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1007-2276
CN:
12-1261/TN
开本:
大16开
出版地:
天津市空港经济区中环西路58号
邮发代号:
6-133
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
9150
总下载数(次)
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总被引数(次)
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