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电子工业专用设备期刊
出版文献量（篇）
3731
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10002

电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量（篇）
3731
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31
总被引数（次）
10002
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  • 1. "2008第六届中国半导体封装测试技术与市场研讨会"在大连胜利召开
    作者： 《电子工业专用设备》编辑部
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  1-2
    摘要：
  • 2. 蚀刻设备的现状与发展趋势
    作者： 童志义
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  3-9
    摘要： 概述了蚀刻技术与设备的现状,针对32nm技术节点器件制程对蚀刻设备在双重图形蚀刻、高K/金属栅材料、金属硬掩膜及进入后摩尔时代三维封装的通孔硅技术(TSV)方面挑战,介绍了蚀刻设备的发展趋势...
  • 3. 微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用
    作者： 朱清溢 李志刚 欧毅 陈大鹏 黄钦文
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  10-14
    摘要： 微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用.详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂...
  • 4. MEMS器件及其设备
    作者： 翁寿松
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  15-18,38
    摘要： MEMS (Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC.2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,200...
  • 5. CMP设备控制软件的模块规划及可视化技术
    作者： 姜培青 康仁科 王永青 郭东明
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  19-23
    摘要： CMP (Chemical Mechanical Polishing)设备是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,CMP设备控制软件的开发是CMP设备研发的关键技术之一.针对三工位CMP机...
  • 6. 先进的工艺流程控制拓展电化学机械抛光工艺相容性
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  24-27,32
    摘要： 电化学机械抛光与化学机械抛光工艺相比提供了更大的控制能力,而一个多区的阴极允许对圆片内部均匀性进行精确的控制.马拉松式运行展现了在保持工艺规程同时具有扩展设备消耗性部件使用期限的能力.一种终...
  • 7. CMP后的晶圆清洗过程研究
    作者： 周国安 张伟锋 詹阳
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  28-32
    摘要： 伴随着整个CMP工艺的进步,CMP后清洗工艺技术也日趋关键.分析了引起缺陷和玷污的因素、微粒去除的理论研究以及清洗的方案;在清洗方案中详细论述了机械去除、化学湿法去除和兆声去除;最后指出了新...
  • 8. 玻璃板上芯片封装关键装备研制与工艺开发
    作者： 张志能
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  33-38
    摘要： 本项目采用高新技术和先进的实用技术,开发热压头机构、ACF供给机构、ACF剪切和剥离机构、各种工作平台、IC供给机构、IC精密定位等机械系统.运用现代设计理论和方法,开发高定位精度的玻璃板上...
  • 9. 多线切割中切割线振动作用研究
    作者： 李保军
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  39-42
    摘要： 在多线切割中砂浆有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数.讨论了切割线在运动中的振动效果以及对切割产生的影响.通过试验及对高速摄像机拍摄照片的分析,得出不同砂浆携带方式...
  • 10. 微直流伺服电机在光刻机中的应用研究
    作者： 刘玄博
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  43-45
    摘要： 从实际应用出发,介绍了微直流伺服电机在光刻机中的选型分析.根据具体负载要求,确定所需电机相应的参数,从而得到能满足驱动需求的最优化的电机.
  • 11. 可编程数字电位器在AVR单片机中的应用
    作者： 谢珺耀
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  46-51
    摘要： 介绍了X9221系列可编程数字电位器与AVR单片机之间的硬件接口、软件通信设计.并对可编程数字电位器在半导体专用设备中的一些应用作了初步的探讨.
  • 12. 浅谈电子制造过程中的静电及静电防护
    作者： 鲜飞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  52-57
    摘要： 静电释放(ESD)就是一定数量的电荷从一个物体(例如人体)传送到另外一个物体(例如芯片)的过程.这个过程能导致在极短的时间内有一个非常高的电流通过芯片,35%以上的芯片损坏都可以归咎于此.因...
  • 13. 行业新闻
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  58-69
    摘要：

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith＿epe@sohu.net
电话 010-64443110，64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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