微直流伺服电机在光刻机中的应用研究

• 作者: 刘玄博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 直流伺服电机 连续转矩
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 应用与研究
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TM383.4
• 字数: 2311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.06.010

摘要

从实际应用出发,介绍了微直流伺服电机在光刻机中的选型分析.根据具体负载要求,确定所需电机相应的参数,从而得到能满足驱动需求的最优化的电机.