MEMS器件及其设备

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 传感器MEMS MEMS市场 MEMS设备
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 15-18,38
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 3974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.06.004

摘要

MEMS (Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC.2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%.2011年MEMS系统级市场将达720亿美元.MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS.MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域.MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点.MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		95	534	13.0	18.0