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电子工业专用设备2013年第1期出版文献
出版文献量（篇）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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1. LED封装历程刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要：
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 论述了晶圆叠层3D封装中的典型工艺——晶圆键合技术,并从晶圆键合原理、工艺过程、键合方法、设备要求等方面对其进行了深入探讨；以期晶圆叠层3D封装能够应用到更加广泛的领域.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 3D硅通孔技术增加电路密度、降低功耗、提高带宽的优势在业内已得到广泛的认可.随着3D TSV技术的迅速发展,对于测试成本的优化就显得尤为突出,现有的测试方法已提出了很多挑战3D TSV技术的...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式.作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响.依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 设计了多线切割机的悬臂系统,主要包括电气箱、转接块、显示器、警示灯、方管、圆管组成.针对多线切割机在使用中存在的噪声偏大,高转速下的振动影响产品品质稳定问题,通过Cosmosworks分析软...
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10. LED湿法清洗设备CDS设计刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 阐述了不完全微分PID算法的原理,以及两种微分算法的数学推导算式与控制输出作用比较,并对其进行了相应的MATLAB仿真实验,取得了较好的控制效果.
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12. 模板匹配算法在半导体设备中的应用刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中.通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点.
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15. 机器视觉光路的鬼像分析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 分析了机器视觉系统光路中鬼像的来源及危害,给出了怎样利用光学设计软件ZEMAX进行鬼像分析.以某机器视觉系统为例详细阐述并列举了消除机器视觉系统鬼像的一般方法.
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电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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