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电子工业专用设备2013年第8期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍了微电子机械系统(M EM S)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合M EM S 材料与加工技术，讨论了MEMS 产品的封装技术及存在的问题，展望了MEMS 技术的发展前景。
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2. CMP后清洗技术发展历程刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 从80年代开始，结合当时最具代表性的CMP设备，分析当时的后清洗技术，如：多槽浸泡式化学湿法清洗、在线清洗、200mm集成清洗、300mm集成清洗及20nm以下的CMP后清洗趋势，每种后清洗...
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3. 温度对悬浮浆料黏度的影响刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 多线切割在光伏以及半导体行业中有着广泛的应用，多线切割所用的悬浮浆料有着非常重要的作用，悬浮浆料由悬浮液和SIC 切割微粉配制并长时间搅拌而成，性能优良的悬浮浆料兼有切削、黏滞、冷却3大功能...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： SPL-1200太阳能印刷线中的烘干炉是印刷线中的重要组成部分，而精准的温度控制又是烘干炉的关键之所在。介绍了经典PID 控制器的原理以及继电反馈参数自整定原理，设计了温度控制系统并对该参数...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍太阳电池的原理及烧结工艺，通过研究烧结工艺与前道工序的关联因素，结合烧结工艺对温度曲线的要求，确定烧结炉的内部结构及温区分布，最后利用热工理论计算，得出炉体功率分布，找到最佳的烧结工艺状...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比，从设备结构，工艺原理，试验测试等方面做了深入的分析，并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小，能够提高电池片的转换效率的...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 针对300mm单晶片清洗设备，设计开发了一套化学药液温度控制系统。由于化学药液传输系统具有大惯性、大时滞、非线性的特点，采用Smith预估法设计了一种温度控制算法；并基于可编程计算机控制器（...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 对进口自动曝光机（M A-5501M C ）设备的工作原理，技术精度及平时出现的主要故障进行了分析探讨，提供LC D 生产线上的自动曝光机设备的使用、调整、维护修理时参考。
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 运动控制系统是由大量元件组成的复杂系统，并且该系统存在着极大的非线性，因而它的设计、运行是一项庞大的系统工程。ZMP控制卡是一款基于SynqNet总线技术的运动控制产品，其自带的Mechaw...
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10. 步进电机加减速曲线的算法研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 阐述了加减速算法在步进电机控制系统中发挥的重要作用，分析了步进电机的梯形曲线、指数曲线和S 形曲线等常用曲线加减速算法，介绍了一种能满足更高精度和速度平滑性的三角曲线加减速算法，最后总结了各...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 不同结构与材料的PC B 数控钻机床身通常采用不同结构支撑，测试了两种外置式支撑结构的振动情况，发现PC B 数控钻孔机动态性能相差很大。通过仿真与测试结合分析，揭示支撑结构的变形情况与导致...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 采用欧姆龙ControlLink网络对多点采集的电镀工艺参数信号进行监测的信息化系统，可提高电镀工艺管理。介绍了多个PLC使用ControlLike进行组网的硬件连接和软件设置，使用组态王编...
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13. 薄膜电容冷压工艺及关键技术刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍了薄膜电容器的生产工艺流程，针对薄膜电容器的冷压工艺，研制了薄膜电容自动冷压机，提出薄膜电容自动冷压机的上料、传送料、冷压等关键技术并对具体的解决方案做了详细的阐述。
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14. 交流电容器滚槽封口机的研制刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： CBB65A型交流电容器生产过程中要完成圆柱铝壳的滚槽与封口工艺，研制的交流电容器滚槽封口机，采用气动夹持装置，解决了体积较小的转盘式滚槽封口设备铝壳的夹持问题；采用旋压滚槽装置，既适合自动...
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15. 电装生产中防静电技术刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍了在电装生产过程中静电的产生与危害，并介绍如何防止静电对产品损坏的措施。
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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