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电子工业专用设备2014年出版文献
出版文献量（篇）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2014年1期页码:摘要： 在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控制方法来实现对温度的...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2014年1期页码:摘要： 在工业控制设备中，温度控制直接决定设备工艺效果。介绍了一种基于OM RON 公司EJ1模块式温控器的温度控制系统，工控机通过以太网与PLC 通讯，通过软硬件设计达到温度控制效果。利用VC++...
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10. 光刻机自动对准工作台控制系统设计刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2014年1期页码:摘要： 光刻机自动对准工作台是光刻机的核心执行功能部件，直接影响着光刻机找平、锁紧、微分离、自动对准执行等关键功能动作；结构设计紧凑精巧，包含复杂气动控制和高速、精密运动控制。运动控制的精度决定着对...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 图形化蓝宝石衬底(PSS)工艺在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,并被LED行业大量采用.针对高亮度LED量产线大量采用二手投影光刻机制备PSS衬底所面临...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2014年3期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
电子工业专用设备统计分析
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