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电子工业专用设备期刊
出版文献量（篇）
3731
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10002

电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量（篇）
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10002
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  • 181. CMP设备承载台关键技术研究
    作者： 姜家宏 李伟 王广峰 王铮
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  28-31
    摘要： 介绍了化学机械抛光设备中承载台机构的功能、结构组成,筛选合适的承载台材料,并通过运用MSC PARTRAN有限元软件对该机构进行模态分析,研究它的固有频率及振动特性,综合对比后,选择合适的方...
  • 182. CMP设备兆声清洗原理及应用
    作者： 史霄 杨师 熊明 郭春华
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  32-35
    摘要： 从空化作用和声波流作用两方面对兆声清洗的物理原理进行深入分析,研究了兆声频率及功率对空化强度、边界层厚度、声波流速等关键因素的影响,从而阐明兆声波清洗的特点及其适用场合.同时以AMAT公司的...
  • 183. 锗抛光片清洗工艺研究
    作者： 王云彪 田原 范红娜 郭亚坤 陈晨
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  36-39
    摘要： 采用紫外线/臭氧技术氧化锗抛光片表面,取代传统的H2O2氧化工艺,之后使用盐酸稀溶液清洗.研究发现当采用波长为253.7 nm和184.9 nm的紫外线光源与臭氧同时作用,并在尽可能靠近锗抛...
  • 184. 超声波清洗在电镀前处理中的应用及选型
    作者： 杜斌 郝鹏飞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  40-42,46
    摘要： 常规电镀前处理工艺中加入超声波清洗工艺,利用超声波的空化作用对工件特别是外形结构复杂或有孔洞的工件进行清洗,不仅能缩短清洗时间而且提高清洗质量;主要介绍了超声波清洗的原理、结构特点、电镀前处...
  • 185. 接触式台阶测量仪常见故障的调修
    作者： 李锁印 赵新宇 赵革艳 韩志国
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  43-46
    摘要： 介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法...
  • 186. 一种简易有效的去除PCBA工艺边工装
    作者： 易亚军 王鹏贺 胡少云 鲜飞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  47-49
    摘要： 介绍了一种简单的去除线路板组件工艺边工装的设计原理,该工装可快速可靠地裁切各种大小并预刻有V型槽的线路板,希望对相关工程设计人员有所帮助.
  • 187. 半导体专用设备的电气控制柜设计研究
    作者： 任晓庆 杨晓静 杨松涛 赵立华
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  50-56
    摘要： 对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等.对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用.
  • 188. 信息动态
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年11期
    页码:  56-72
    摘要：
  • 189. 智能制造帮助企业提升新的竞争力
    作者： 易亚军 鲜飞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  1-3,7
    摘要： 当前制造业自动化发展的总趋势是由单元自动化发展成信息技术、网络技术和计算机技术支撑的智能制造系统,以华中数控(简称华数)为例,初步探讨了企业如何创建智能制造制造系统.
  • 190. 钨化学气相淀积设备的废气处理改善
    作者： 何秉元
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  4-7
    摘要： 钨化学气相淀积反应会生成大量的有害副产物,这些有害气体通过尾气处理器处理去除有害成分或改变化学组成.真空排气管道和尾气处理器常常由于粉尘堵塞需要设备停机定期清理,介绍了粉尘堆积的原因和减少粉...
  • 191. 全自动高温湿法刻蚀设备的研制
    作者： 段成龙 祝福生
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  8-12
    摘要： 介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能.
  • 192. 多线切割硅片线痕问题研究
    作者： 杨春明
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  13-16,49
    摘要： 线痕是多线切割领域比较常见的问题之一,分类总结了各种线痕产生的原因,并提出了相应的解决方法.
  • 193. 贴片机贴装路径优化的改进遗传算法
    作者： 吕文强 曹宏耀 曾驰鹤 朱舜文 胡少华 董健腾 龙绪明
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  17-21,46
    摘要： 贴片机贴装顺序是影响设备生产效率的重要问题,针对此问题,已有各种优化算法提出,包括遗传算法.但是传统的遗传算法(GA)包括一些改进的遗传算法,在解决这个问题上还是存在全局性差、收敛速度慢和易...
  • 194. 防止纯锡镀层变色的电镀参数优化
    作者： 李红雷 高国华
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  22-27
    摘要： 纯锡电镀工艺主要有锡晶须、镀层变色等问题,其中镀层变色严重影响器件的可焊性.通过分析纯锡电镀各参数对镀层变色的影响,设计了工艺参数的优化实验方案,然后按照方案进行样品制作、评价和数据分析,得...
  • 195. 浅谈引线框架对IC封装分层的影响
    作者： 周朝峰 孙亚丽 赵萍
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  28-31
    摘要： 引线框架是集成电路封装中必不可少的材料,它作为集成电路的芯片载体,起到了和外部导通连接的作用,因此要求引线框架具有优良的导电性能、导热性能以及机械性能,还要求具有抗氧化性、抗腐蚀性及高可靠性...
  • 196. PLC在高精度液压控制系统中的应用
    作者： 何永 荆晓丽
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  32-37
    摘要： 针对液压机在电子行业高精度的要求,设计一种液压控制系统,采用KEYENCEKV-5000 PLC作为主控核心,通过实时采集外部数据获得反馈值,将输出值传输给伺服驱动器控制液压主缸的运动;阐述...
  • 197. 基于MATLAB的升降式抖动机构运动仿真
    作者： 史霄 吴光庆 秦亚奇 郭春华
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  38-41
    摘要： 通过对晶圆清洗过程中常用抖动机构的分析,将其等效为偏心曲柄-滑块机构.建立数学模型,分别推导出曲柄的角位移、角速度、角加速度和滑块的位移、速度、加速度,并应用MATLAB软件进行仿真,得到了...
  • 198. 鲁棒控制在高速运动控制中的应用研究
    作者： 刘丹 尚美杰 崔洁 徐品烈 肖雅静
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  42-46
    摘要： 半导体封装设备中对运动控制有着较高的要求,尤其对于需要高速运行的设备来说,传统的PID控制已经不能满足要求.研究了高速运动控制下鲁棒控制的应用,系统地介绍了一套H∞鲁棒控制器的设计方法,最后...
  • 199. 一种玻璃薄片夹持机构的研究和应用
    作者： 翟利军
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  47-49
    摘要： 通过对真空环境下玻璃薄片之间贴合工艺的研究,针对平面直压式贴合方式,设计了弹簧升降机构来进行产品的定位和夹紧,并且结合真空环境的特点,分析了机构的原理和应用前景.
  • 200. 信息动态
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2015年12期
    页码:  50-67
    摘要：

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith＿epe@sohu.net
电话 010-64443110，64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

被引趋势
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