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电子工业专用设备期刊
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31

电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
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  • 1. 硬脆材料的激光引导冷分离技术
    作者： 张孝其 张雨 王宏智 韩微微
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  1-2,33
    摘要： 介绍了一种新型、节能的硬脆材料分离技术.该技术使用隐形激光打点使晶锭上部形成分离层,通过将高分子分离材料涂覆在待分离的晶圆薄片表面并冷冻使晶圆薄片分离.描述了该技术的主要工作流程和工艺特点,...
  • 2. 高精度激光切割运动控制系统的设计
    作者： 张金凤 郑佳晶 雒晓文
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  3-6,18
    摘要： 介绍了激光切割运动控制系统的构成及原理;设计基于GALIL运动控制卡的运动控制系统,采用全闭环的运动控制方式,使系统的精度和加工质量都得到提高;经过工艺实验及测试,可满足当前切割工艺对设备精...
  • 3. 影响硅片翘曲度的设备因素分析
    作者： 吕文利 蒋超 邓斌
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  7-14
    摘要： 剖析了多线切割的工作机理和硅片切割原理,对影响硅片翘曲度的设备关键部件进行理论分析,并通过切割试验来对分析的结果进行论证;同时,创建切割钢线的理想力学模型,利用偏微分方程对模型进行力学分析,...
  • 4. 多线切割工艺对研磨去除量的影响
    作者： 何远东 杨洪星 苏鹏飞 马玉通
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  15-18
    摘要： 大直径硅片的研磨去除量成为评价多线切割工艺水平的关键技术指标,也有利于研磨工序单位成本的降低;切片损伤层深度是决定全片研磨去除量的主要因素,而切片几何参数是决定局部研磨去除量的主要因素.通过...
  • 5. 摆动单线切割机控制系统设计
    作者： 丁彭刚 陈煜
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  19-21,27
    摘要： 针对超硬材料的切割特点,提出了摆动式单线切割机控制系统的设计方案,结合不同材料的工艺研究,不断完善和增强了线切割机的应用范围和切割效率.
  • 6. 多线切割机摆动方式研究
    作者： 付纯鹤 周庆亚 谢耿勋 陈学森
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  22-24
    摘要： 阐述了在多线切割机中较为常用的摆动切割的几种方式,通过对几种摆动切割方式线网切割轨迹的理论分析,对比了几种切割方式的优缺点,最终并确定了在实际使用中最佳的切割方式.
  • 7. 半导体定向工艺的研究
    作者： 杨春颖
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  25-27
    摘要： 单晶体具有一种独特的各向异性性质,这种各向异性对半导体材料和器件的制造有着十分重要的影响,因此在使用晶体时必须按一定的方向切割,才能达到较好的应用效果.
  • 8. 等离子体清洗工艺在电声器件生产工艺中的应用
    作者： 李辉 程丕俊
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  28-33
    摘要： 在电声器件生产工艺过程中,胶粘表面亲水性能强弱及锡丝焊接前表面的氧化物及颗粒污染物存在的因素,会降低产品可靠性,影响产品质量.如在生产工艺前进行等离子体清洗,则可有效增强可靠性、提高良品率、...
  • 9. BTZ-3100型探针台承片台系统的改进研究
    作者： 郑金宝
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  34-37,42
    摘要： BTZ-3100型自动探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中运动系统是该分选设备的一个重要结构.结合客户在使用过程的反馈意见,总结了运动系统存在的一些问题:主要包括z轴升降台运动导致的芯片...
  • 10. 基于钻削力的PCB铝基板钻孔工艺研究
    作者： 何玲 吴恒玉 王志刚
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  38-42
    摘要： 采用正交实验的方法,测量不同刃长的钻头钻通孔PCB板材的轴向力,研究不同刀具结构,无涂层钻头与有涂层钻头对钻孔切削力的影响,测试出不同钻头,不同钻孔工艺参数对钻孔切削力的影响,测量出最佳工艺...
  • 11. 一种回转工作台的设计
    作者： 孙贝贝
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  43-48
    摘要： 回转工作台在现代工业设备中使用场合多应用范围广,针对某些场合对回转工作台回转精度、承载刚性、回转速度等使用方面的要求,设计了一种伺服电机+谐波减速机+交叉滚子轴承的回转工作台机构.对回转工作...
  • 12. 基于历史销售数据的预测分析
    作者： 孙振杰 王君锋
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  49-53
    摘要： 预测是决策的前提,科学预测是正确决策的依据.在生产计划与控制中,市场需求预测分析是制定生产计划的科学依据.回归分析是应用较广的预测分析方法之一,通过对历史销售数据的研究与分析,推测未来一段时...
  • 13. 信息动态
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2016年9期
    页码:  54-63
    摘要：

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith＿epe@sohu.net
电话 010-64443110，64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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