半导体定向工艺的研究

• 作者: 杨春颖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 粘棒 定向 X射线
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 材料制造工艺与设备
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1236字
• 语种: 中文

摘要

单晶体具有一种独特的各向异性性质,这种各向异性对半导体材料和器件的制造有着十分重要的影响,因此在使用晶体时必须按一定的方向切割,才能达到较好的应用效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春颖	中国电子科技集团公司第四十六研究所	2	0	0.0	0.0